[发明专利]一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法

摘要

一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法属于干涉测量技术领域，装配方法如下：把显微物镜固定在主镜筒上，调整显微物镜光轴和高精度车床转轴重合，车削主镜筒内圆；使弯月透镜筒外圆和弯月透镜的光轴同轴；用光学平板代替小孔板；使光学平板座外圆和光学平板光轴平行；把弯月透镜、光学平板装入主镜筒，通过压圈压紧，使显微物镜、弯月透镜和光学平板光轴重合，装配完成；改造完成后把小孔板安装在三维精密调整台上，通过调整使改造显微物镜的光轴通过小孔板上的小孔。本发明属于改进性发明，采用商业化的显微物镜进行改造，不但使加工周期大大缩短，加工成本也大幅降低，像质也得到较好的保证。

主权项

一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法，该方法包括如下步骤：步骤一：把显微物镜(2)固定在主镜筒(1)上，调整显微物镜(2)光轴和高精度车床转轴重合，车削主镜筒(1)内圆；步骤二：使弯月透镜筒(5)外圆的机械轴和弯月透镜(3)的光轴同轴；步骤三：用光学平板(4)代替小孔板，使光学平板座(6)外圆和光学平板(4)光轴平行；步骤四：把弯月透镜(3)和光学平板(4)装入主镜筒(1)，压紧后使显微物镜(2)、弯月透镜(3)和光学平板(4)光轴重合，装配完成；步骤五：检查所改造显微物镜(2)的点扩散函数，当光学指标达到要求则卸下光学平板(4)，加工掉光学平板座(6)凸起的部分；步骤六：小孔板安装在三维精密调整台上，通过调整使改造显微物镜(2)的光轴通过小孔板上的小孔。