[发明专利]一种C形硅芯的拉制方法

摘要

一种C形硅芯的拉制方法，包括用于融化晶体(7)的坩埚(5)和加热套(6)；用于拉制C形硅芯(2)的模板(11)结构，所述拉制方法包括如下步骤：A、前期准备，B、晶体(7)料的融化，C、拉制硅芯，D、成品C形硅芯(2)：重复前述步骤便可实现多次晶体拉制过程的C形硅芯(2)拉制；本发明在后续使用中，有效克服了现有实心方或圆硅芯直径较小的弊端，由相同重量的C形硅芯或略大于实心硅芯的C形硅芯，实现多晶棒的快速生长目的，本发明拉制硅芯的方法使用较为简单，大量节约了企业成本。

主权项

一种C形硅芯的拉制方法，包括用于融化晶体(7)的坩埚(5)和加热套(6)；用于拉制C形硅芯(2)的模板(11)结构，其特征是：所述用于融化晶体(7)的坩埚(5)和加热套(6)，在坩埚(5)的外部间隔设有加热套(6)，坩埚(5)的下部设有支撑体(8)，模板(11)设置在坩埚(5)内，所述模板(11)的模板上面(4)设有C形槽(9)，C形槽(9)内设有贯通模板(11)下部面的液体晶体通路；对应模板上面(4)C形槽(9)的籽晶夹头上设有C形籽晶(1)；所述拉制方法包括如下步骤：A、前期准备：把干净的晶体(7)料放入坩埚(5)，所述晶体(7)料的高度不得超出模板(11)的模板上面(4)，将晶体(7)料平整压实，然后将模板(11)放置在坩埚(5)内，所述模板(11)的外缘面或上部面与定位机构(3)连接，所述模板(11)与定位机构(3)随动；坩埚(5)的支撑体(8)使所述坩埚(5)独立且不与加热套(6)接触；B、晶体(7)料的融化：开启加热套(6)对坩埚(5)进行加热至坩埚(5)内的晶体(7)料融化，所述的晶体(7)料融化为液体；C、拉制硅芯：籽晶夹头带着C形籽晶(1)下降，C形籽晶(1)的籽晶下端插入相匹配模板(11)的C形槽(9)中并插入C形槽(9)内熔化的晶体(7)料液体中，然后提升C形籽晶(1)，坩埚(5)内熔化的晶体(7)料液会跟随C形籽晶(1)上升，脱离了模板(11)的C形槽(9)晶体结晶形成 C形硅芯(2)；D、成品C形硅芯(2)：通过上述步骤晶体(7)料液体便形成了一个新的C形硅芯(2)体，所述C形籽晶(1)在籽晶夹头夹带下缓慢上升，便可形成所需长度的成品C形硅芯(2)；E、重复上述步骤便可实现多次晶体拉制过程的C形硅芯(2)拉制。