[发明专利]三氯氢硅尾气回收装置及方法

摘要

本发明涉及三氯氢硅尾气回收装置及方法。采用吸收塔和解吸塔流程，尾气进入吸收塔，通过吸收剂将尾气中的氯硅烷组分在吸收塔中吸收下来，进入吸收塔釜形成吸收液。回收后的气体中的氯硅烷组分用气相色谱法检不出，组成为氢气和氯化氢，直接返回氯化氢合成炉。由吸收剂和氯硅烷组成的吸收液，作为进料进入到解吸塔，塔釜得到纯净的吸收剂，经过换热后返回吸收剂原料罐，循环使用；塔顶得到氯硅烷，返回粗品贮罐，作为精馏塔的进料，进一步分离得到产品三氯氢硅和副产品四氯化硅。本发明工艺流程简单、设备投资小、能量消耗低，可实现氯硅烷完全分离，彻底解决了三氯氢硅生产过程中的尾气回收和再利用问题。

主权项

一种三氯氢硅尾气回收装置，其特征在于，采用吸收塔和解吸塔，吸收塔上端设置有溶剂入口，吸收塔下端设置有工艺尾气入口，吸收塔顶部设置有吸收后的尾气出口，吸收塔底部设置有溶剂吸收液出口；解吸塔中部设置有溶剂吸收液进口，解吸塔顶部设置有氯硅烷出口，解吸塔底部设置有回收溶剂出口；吸收塔底部设置的溶剂吸收液出口经管线与解吸塔中部设置的溶剂吸收液进口连接；解吸塔底部设置的回收溶剂出口经管线与吸收塔上端设置的溶剂入口连接。