[发明专利]一种石英坩埚表面处理方法

摘要

本发明公开了一种石英坩埚表面处理方法，其特征是：包括如下步骤，自来水冲洗石英坩埚、混合液浸泡石英坩埚、去离子水冲淋步骤、去离子水浸泡步骤、去离子水冲淋步骤和烘干步骤，其中混合液浸泡步骤中混合液由带氟盐、盐酸和过氧化合物混合而成，带氟盐、盐酸和过氧化合物的质量浓度分别为0.1—99.99%，三种试剂的体积比为（1—99）：（1—99）：（1—99），浸泡时间为50—100min，混合液的温度：50～80℃。本发明的优点是：本发明石英坩埚表面处理方法，对石英坩埚进行表面处理，最终石英坩埚的表面金属杂质含量可降低1-2个数量级，降低坩埚内表面0-150µm厚度内的气泡浓度，同时还可清除石英坩埚表面的微颗粒。

主权项

一种石英坩埚表面处理方法，其特征是：包括如下步骤，（1）、冲洗石英坩埚      将经喷砂切割后的石英坩埚用自来水冲洗，冲洗后倒扣在架子上淋去表面的水滴；（2）、混合液浸泡石英坩埚      将冲洗后的石英坩埚置于专用的石英坩埚篮中，然后一起放入混合液中浸泡，所述混合液由带氟盐、盐酸和过氧化合物混合而成，带氟盐、盐酸和过氧化合物的质量浓度分别为0.1—99.99%，三种试剂的体积比为（1—99）：（1—99）：（1—99），混合液置于专用的水槽中，水槽中配备有循环水泵，让混合液在水槽中循环，保证在浸泡过程中混合溶液与石英坩埚表面充分反应，浸泡时间为50—100min，混合液的温度：50～80℃；（3）、将混合液浸泡后的石英坩埚取出，用电阻为15～21MΩ*cm的去离子水将石英坩埚表面和坩埚篮冲洗后，放入电阻为15～21MΩ*cm的去离子水池继续浸泡，浸泡时间为10—30min；（4）、将经去离子水浸泡后的石英坩埚取出，在专用的石英坩埚清洗机上用电阻为15～21MΩ*cm的去离子水淋洗； （5）、将淋洗后的坩埚放入具有加热装置的洁净棚中，3‑6 分钟后将石英坩埚烤干，至此，石英坩埚的表面处理工艺结束，进入下道包装工序。