[发明专利]一种光学干涉检测同轴度控制方法

摘要

本发明涉及一种光学干涉检测同轴度控制方法，其可以实现干涉仪光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度检测和控制，包括干涉仪(1)、标准镜(2)、被测镜面(3)、六维调整架和计算机(8)。转动六维调整架的转台(5)绕光轴旋转被测镜面(3)，将转动前后的被测镜面(3)面形检测数据导入计算机(8)进行数据分析可获得干涉仪系统的光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度信息，并以此为依据调节六维调整平台来实现干涉仪(1)光轴和被测镜面(3)旋转轴的同轴度对准。本发明可以为高精度干涉检测提供光学同轴度的检测和控制方法，结构简单，能有效提高干涉检测的同轴度，进而提高检测精度。

主权项

一种光学干涉检测同轴度控制方法，包括干涉仪(1)、标准镜(2)、被测镜面(3)、六维调整架自带的镜面装卡装置(4)、六维调整架转台(5)、二维倾斜调节架(6)和三维平移平台(7)，以及计算机(8)，来自干涉仪(1)内部的光束经过标准镜(2)后沿法向入射到被测镜面(3)上，被测镜面(3)固定在六维调整架自带的镜面装卡装置(4)上；被测镜面(3)和标准镜(2)处于共焦的位置；其特征在于：干涉仪光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度检测与控制方法步骤如下：1.1)安装被测镜面(3)，通过调节六维调整架自带的镜面装卡装置(4)实现被测镜面中心和六维调整架转台(5)中心的对准；调节六维调整架，直到被测镜面(3)的曲率中心和标准镜(2)的曲率中心重合，二者处于共焦位置，检测被测镜面(3)，获得面形数据图W1；1.2)将检测得到的面形数据图W1导入计算机(8)进行数据处理，得到数据图的有效数据点数P1，数据图中心点坐标(X1，Y1)，数据半径R1；1.3)转动六维调整架转台(5)以旋转被测镜面(3)任意角度，检测得到面形数据图W2，将获得的面形数据图W2导入计算机(8)进行数据处理，同样可获得据图W2的有效数据点数P2，数据图中心点坐标(X2，Y2)，数据半径R2；1.4)将两次得到的数据图有效数据点数、数据边缘分布图、中心点坐标和数据半径分别相减，如果其差值满足一定的阈值条件，则说明干涉仪光轴和被测镜面中心旋转轴已对准；1.5)否则，调节六维调整架以调整被测镜面(3)，重复以上调整步骤1.2‑1.4，直至实现同轴度的对准。