[发明专利]用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极无效
| 申请号： | 201110385520.5 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102496538A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01J1/02 | 分类号： | H01J1/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在极紫外光刻光源中，需要通过改变毛细管的长度的方式来实现两个主脉冲电极之间的距离的改变的问题。它包括长度可调的主脉冲电极段、预脉冲电极段和放电电极段，预脉冲电极段为圆筒形，预脉冲电极段的一端固定连接放电电极段的一端，放电电极段的另一端的端面为凹球面；主脉冲电极段的一端从预脉冲电极段的另一端插入其内部，并与预脉冲电极段电连接，主脉冲电极段的另一端露在预脉冲电极段外部，且其末端具有尖端，所述放电电极段呈柱状，放电电极段的截面半径的范围为0.2mm～3.5mm。本发明作为一种极紫外光刻光源的放电电极。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 毛细管 紫外 光刻 光源 放电 电极 | ||
【主权项】：
一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，其特征在于：它包括长度可调的主脉冲电极段(1)、预脉冲电极段(2)和放电电极段(3)，预脉冲电极段(2)为圆筒形，预脉冲电极段(2)的一端固定连接放电电极段(3)的一端，放电电极段(3)的另一端的端面为凹球面；主脉冲电极段(1)的一端从预脉冲电极段(2)的另一端插入其内部，并与预脉冲电极段(2)电连接，主脉冲电极段(1)的另一端露在预脉冲电极段(2)外部，且其末端具有尖端，所述放电电极段(3)呈柱状，放电电极段(3)的截面半径的范围为0.2mm～3.5mm。
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