[发明专利]一种多参数水质监测集成微阵列电极及制备方法无效
| 申请号： | 201110379312.4 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102495119A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 金庆辉;张缓缓;陈强;张洹千;赵建龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N27/333 | 分类号： | G01N27/333;G01K7/16;B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多参数水质监测集成微阵列电极及制备方法，其特征在于所述的微阵列电极制作在氧化硅片上。该阵列电极衬底为Pt薄膜，光敏性聚酰亚胺为绝缘层，光刻将电极位点裸露出来，其他部分绝缘；采用电化学修饰的方法在裸露电极上电沉积Ag/AgCl和IrOx薄膜分别形成参比电极和pH测试电极，以实现对温度、氧化还原电位、电导率和pH的测定。制作包括微阵列电极的制作，Ag/AgCl参比电极的制备以及pH电极的制备。本发明所述微电极便于集成化和微型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 参数 水质 监测 集成 阵列 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多参数水质检测集成微阵列电极，其特征在于所述的微阵列电极制作在氧化硅片上。该阵列电极衬底为Pt薄膜，光敏性聚酰亚胺为绝缘层，光刻将电极位点裸露出来，其他部分绝缘；采用电化学修饰的方法在裸露电极上电沉积Ag/AgCl和IrOx薄膜分别形成参比电极和pH测试电极，以实现对温度、氧化还原电位、电导率和pH的测定。
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