[发明专利]一种止推轴承及电主轴有效
| 申请号： | 201110373529.4 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN103128864A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 贾月明;王明权;李战伟;岳芸 | 申请（专利权）人： | 北京中电科电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿;安利霞 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种止推轴承及电主轴，其中，止推轴承包括：前止推轴承和后止推轴承，分别设置于电主轴的转轴的法兰两侧，用于对所述转轴提供轴向气膜支撑。在划片机切割晶圆时，本发明公开的止推轴承提供的高稳定性气膜支撑能够抑制转轴的轴向窜动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轴承 主轴 | ||
【主权项】：
一种止推轴承，其特征在于，包括：前止推轴承和后止推轴承，分别设置于电主轴的转轴的法兰两侧，用于对所述转轴提供轴向气膜支撑。
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