[发明专利]650kg多晶硅铸锭工艺无效

专利信息
申请号: 201110372134.2 申请日: 2011-11-22
公开(公告)号: CN102409402A 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 隗立玮 申请(专利权)人: 江苏金晖光伏有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 扬州市锦江专利事务所 32106 代理人: 江平
地址: 225600 江苏省扬*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 650kg多晶硅铸锭工艺,涉及多晶硅的铸锭工艺,包括加热、融化、长晶、退火和冷却工艺步骤,在加热时,在4小时内,将置于多晶硅加热容器内的650kg原生硅的温度从常温升至1175℃;在融化时,将原生硅升温至1550℃,升温时间为5个小时,保温时间为8个小时;在长晶时,第一至八步的隔热笼提升的位置分别为10cm、2~12cm、3~14cm、4~16cm、5~18cm、6~20cm、7~20cm、8~21cm;第七步长晶时间为7个小时;退火时间为3.5小时;在冷却时,在内部应力消除后,将整个设备降至常温后再出炉。本发明主要优点就是可以大大的降低成本,节约能源,增加产品的可用率。
搜索关键词: 650 kg 多晶 铸锭 工艺
【主权项】:
650kg多晶硅铸锭工艺,包括加热、融化、长晶、退火和冷却工艺步骤,其特征在于:1)在加热时,在4小时内,将置于多晶硅加热容器内的650kg原生硅的温度从常温升至1175℃;2)在融化时,将原生硅升温至1550℃,升温时间为5个小时,保温时间为8个小时;3)在长晶时,隔热笼提升的位置分别为:第一步为10cm,第二步为2~12cm,第三步为3~14cm,第四步为4~16cm,第五步为5~18cm,第六步为6~20cm,第七步为7~20cm,第八步为8~21cm;第七步长晶时间为7个小时;4)在退火时,退火时间为3.5小时;5)在冷却时,待内部应力消除后,将整个设备降至350℃后再出炉。
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