[发明专利]多晶硅铸锭装置无效
申请号: | 201110370471.8 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN103122477A | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 李川川 | 申请(专利权)人: | 常州市万阳光伏有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 张利强 |
地址: | 213115 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅铸锭装置,包括:炉体和支架,所述支架上设有与炉体相连的液压缸,所述炉体内设置有坩埚,所述坩埚外侧设有石墨坩埚,所述石墨坩埚外侧四周设有加热器,所述石墨坩埚下方设有石墨冷却块,所述坩埚四周设有隔热笼,所述炉体底部设有支撑柱,所述支撑柱穿过隔热笼支撑在石墨冷却块底部,所述炉体顶部设有炉腔过温保护热电偶和坩埚控温测量热电偶。通过上述方式,本发明能够简化炉体结构,增加提纯和晶体生长效果,具有运动轻巧平稳,工艺可靠,操作简单的特点,可同时检测炉腔内和隔热笼内的温度,提高了多晶硅铸锭装置的可靠性能。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭装置,其特征在于,包括:炉体和支架,所述支架上设有与炉体相连的液压缸,所述炉体内设置有坩埚,所述坩埚外侧设有石墨坩埚,所述石墨坩埚外侧四周设有加热器,所述石墨坩埚下方设有石墨冷却块,所述坩埚四周设有隔热笼,所述炉体底部设有支撑柱,所述支撑柱穿过隔热笼支撑在石墨冷却块底部,所述炉体顶部设有炉腔过温保护热电偶和坩埚控温测量热电偶。
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