[发明专利]一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法有效
| 申请号： | 201110354870.5 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN102507040A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张荣君;郑玉祥;陈良尧;张帆;林崴;耿阳;卢红亮 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于温度测量技术领域，具体为一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法。本发明利用椭偏仪测量被测薄膜的折射率谱线与标准折射率谱线，将两者比较，采用最小二乘法得到最佳匹配曲线，从而根据标准谱线所对应的温度值得到被测薄膜的温度值。本发明可非直接、无损耗地测量固体薄膜实时或非实时温度。测量过程中对薄膜材料没损伤，当实验条件不发生明显变化时，该方法具有较高的置信度。当标准折射率谱的温度间隔取得较小时，该方法具有较高的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 椭偏仪 薄膜 温度 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法，其特征在于具体步骤为：（1）首先，利用反射式椭偏仪测量几组不同温度下薄膜的折射率谱线，作为该薄膜的标准折射率谱NT (λ)；（2）然后，利用反射式椭偏仪测量在相同实验条件下温度未知的某一被测薄膜的折射率谱线Nx (λ)；（3）采用最小二乘法，计算被测薄膜的折射率谱线Nx (λ)与每组标准折射率谱线NT (λ)的对应各波长点的折射率差值平方，并分别求和，得到一组方差![]()
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（1）（4）比较这一组方差的大小，数值最小的方差所对应的标准折射率谱线就是被测薄膜的最佳匹配谱线，该标准谱线所对应的温度就是被测薄膜的温度。
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