[发明专利]光刻投影物镜有效
| 申请号： | 201110353697.7 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN103105664A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张品祥;黄玲 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/06 | 分类号： | G02B13/06;G02B13/18;G02B13/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻投影物镜，所述光刻投影物镜包含：第一平面反射镜，具有正光焦度的第一球面反射镜，具有负光焦度的镜片组，具有负光焦度的第二球面反射镜，第二平面反射镜；光线沿传播方向，依次经过第一平面反射镜，第一球面反射镜，镜片组，第二球面反射镜，镜片组，第一球面反射镜，第二平面反射镜。本发明的投影物镜具有较大的曝光视场，非扫描方向500mm；使用多波长曝光，增加了曝光照度，提高光刻机的产率；在光瞳面附近使用若干片小口径镜片控制像差，使得在保证物镜的制造、成本、重量等前提下，获得优异的曝光像质。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 投影 物镜 | ||
【主权项】：
一种光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜包含：第一平面反射镜，具有正光焦度的第一球面反射镜，具有负光焦度的镜片组，具有负光焦度的第二球面反射镜，第二平面反射镜；光线沿传播方向，依次经过第一平面反射镜，第一球面反射镜，镜片组，第二球面反射镜，镜片组，第一球面反射镜，第二平面反射镜。
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