[发明专利]TFT-LCD制程中多层UV烘烤炉的UV照度的检测方法及用于实施该方法的取片组合装置有效
| 申请号： | 201110351921.9 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102435307A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 尹凤鸣;江文彬 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种TFT-LCD制程中多层UV烘烤炉的UV照度的检测方法及用于实施该方法的取片组合装置，该TFT-LCD制程中多层UV烘烤炉的UV照度的检测方法包括如下步骤：步骤1、提供TFT-LCD制程中多层UV烘烤炉、取片装置、检测控制系统及可检测UV照度的传感器；步骤2、在取片装置上设置传感器；步骤3、通讯连接检测控制系统与传感器；步骤4、操作取片装置将传感器送到多层UV烘烤炉的炉层中需要检测UV照度的位置处；步骤5、传感器采集数据，并将取得的数据传送到检测控制系统，从而实现检测。该取片组合装置包括取片装置及设置于取片装置的传感器。 | ||
| 搜索关键词： | tft lcd 制程中 多层 uv 烤炉 照度 检测 方法 用于 实施 组合 装置 | ||
【主权项】：
一种TFT‑LCD制程中多层UV烘烤炉的UV照度的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供TFT‑LCD制程中多层UV烘烤炉、取片装置、检测控制系统及可检测UV照度的传感器；步骤2、在取片装置上设置传感器；步骤3、通讯连接检测控制系统与传感器；步骤4、操作取片装置将传感器送到多层UV烘烤炉的炉层中需要检测UV照度的位置处；步骤5、传感器采集数据，并将取得的数据传送到检测控制系统，从而实现检测。
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