[发明专利]多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法无效
| 申请号： | 201110351695.4 | 申请日： | 2011-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN102423743A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 曹新闻 | 申请（专利权）人： | 曹新闻 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221116 江苏省徐州市铜*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，属于多晶硅制备技术领域。坩埚涂覆机包括底座、支撑部，支撑部上端铰接转轴支架，转轴支架内有转轴，转轴的一端可拆卸的固定有坩埚，转轴的另一端连接有动力源；转轴支架与底座之间装有液压支柱。坩埚涂覆方法包括安装和清理坩埚、倒浆料、垂直旋转涂覆坩埚底部、水平旋转涂覆坩埚侧面、倒出浆料余料、取下坩埚等步骤。使用本发明坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，可实现坩埚自动或半自动旋转涂覆，取代传统的人工喷涂方式，解决浆料涂覆不匀产生的硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率，保证产品质量，减少劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 坩埚 涂覆机 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：它包括底座(1)，底座(1)上固定有支撑部(1‑1)，支撑部(1‑1)上端有铰支座(4)，铰支座(4)上铰接有转轴支架(3)，转轴支架(3)内穿入转轴(5)，转轴(5)与转轴支架(3)之间装有轴承，所述的转轴(5)的一端伸出所述的转轴支架(3)外可拆卸的固定有坩埚(6)，所述的转轴(5)的另一端连接有动力源(2)；所述的转轴支架(3)靠近坩埚(6)的一端与所述的底座(1)之间装有液压支柱(7)，液压支柱(7)的一端与所述的转轴支架(3)铰接，液压支柱(7)的另一端与所述的底座(1)铰接。
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