[发明专利]一种气体精密温度控制装置

摘要

本发明提出一种气体精密温度控制装置，包括：气体侧管路，液体侧回路，以及控制器；所述液体侧管路由第一回路与第二回路组成，所述液体侧管路连接于所述热交换器；其中所述第二回路包括电动双通阀，手动调压阀，循环泵与温度传感器；所述第一回路则包括球阀，过滤器与温度传感器。本发明提出了的气体精度温度控制装置，此装置采用两级液体循环控温系统，且对冷却或加热的循环液体无精度要求，通过控制进入回路内的液体流量，进行冷热补偿，可获得较高的气体温控精度，从而保证光刻机内温度的稳定性和均匀性指标。

主权项

一种气体精密温度控制装置，其特征在于，包括：气体侧管路，液体侧回路，以及控制器；其中，所述气体侧管路由消音器，洁净风机，热交换器，温度传感器、以及风速传感器组成，所述消音器设置于装置进气口处和出气口处，所述洁净风机通过气体管路连接于所述进气口处的消音器，所述热交换器通过气体管路连接于所述洁净风机和所述出口处的消音器，所述温度传感器设置于所述热交换器两侧，所述风速传感器设置于所述热交换器与所述出口处的消音器之间；所述液体侧管路由第一回路与第二回路组成，所述液体侧管路连接于所述热交换器；其中所述第二回路包括电动双通阀，手动调压阀，循环泵与温度传感器；所述第一回路则包括球阀，过滤器与温度传感器。