[发明专利]一种微水柱导引激光微细加工装置

摘要

本发明涉及一种微水柱导引激光微细加工装置，其包括支撑套管、水箱、喷嘴和光学聚焦透镜；在所述支撑套管中通过透镜座水平安装光学聚焦透镜，透镜座与Z方向的喷嘴孔中心调节机构连接；在所述支撑套管下端口安装水箱，所述水箱通过进水管接头连接高压水系统；所述水箱的顶端正中为石英窗户，正对支撑套管下端口中心，水箱的底端正中设置喷嘴，光学聚焦透镜的聚焦点正好落在喷嘴的微孔中心；所述水箱还与水平X和Y方向的喷嘴孔中心调节机构连接。本装置水平方向和高度方向的激光耦合对准的调节机构，实现激光焦斑与喷嘴孔中心的三维相对位置的精确调整，保证水导激光微细加工中聚焦激光与水束光纤的耦合效果。

主权项

一种微水柱导引激光微细加工装置，其包括支撑套管（1）、水箱（7）、喷嘴（9）和光学聚焦透镜（16）；其特征在于：在所述支撑套管（1）中通过透镜座（15）水平安装光学聚焦透镜（16），透镜座（15）与支撑套管（1）上的Z方向喷嘴孔中心调节机构连接；在所述支撑套管下端口安装水箱（7），所述水箱通过进水管接头（12）连接高压水系统；所述水箱的顶端正中为石英窗户（14），正对支撑套管下端口中心，水箱的底端正中设置喷嘴（9），光学聚焦透镜的聚焦点正好落在喷嘴的微孔中心；所述水箱还与支撑套管（1）上的水平X和Y方向喷嘴孔中心调节机构连接。