[发明专利]小型液态四氯化硅定量供料系统及其控制方法

摘要

本发明提供一种小型液态四氯化硅定量供料系统，包括通过管道与阀门依次连接的氮气钢瓶、气体流量计、四氯化硅储罐、四氯化硅缓冲罐、以及蠕动泵。还提供一种相应的控制方法，包括如下步骤步骤一气路系统的吹扫；步骤二缓冲罐进料；步骤三四氯化硅系统的进料。本发明完全实现了四氯化硅安全、定量、稳定的供给。有利于涉及四氯化硅反应与生产应用的定量控制，造价低廉。同时气路的设计使氮气吹扫可以有效地防止四氯化硅残液对于整个系统的腐蚀，从而提高了该系统的使用寿命。

主权项

一种小型液态四氯化硅定量供料系统，其特征在于，包括通过管道与阀门依次连接的氮气钢瓶、气体流量计、四氯化硅储罐、四氯化硅缓冲罐、以及蠕动泵；所述氮气钢瓶依次通过第一阀门以及第二阀门连接至所述气体流量计，所述气体流量计依次通过第三阀门以及第五阀门连接至所述四氯化硅储罐，所述四氯化硅储罐依次通过第六阀门、第七阀门、以及第八阀门连接至所述四氯化硅缓冲罐，所述四氯化硅缓冲罐依次通过第十阀门、第二软管、以及第一软管连接至所述蠕动泵的进口，所述蠕动泵的出口依次连接第三软管以及第十一阀门，所述第五阀门的进口与所述第六阀门的出口之间连接有第四阀门，所述第八阀门的进口与所述第十阀门的出口之间连接有第九阀门。