[发明专利]一种三明治结构复合纳米压印模板及其制备方法无效
| 申请号： | 201110331532.X | 申请日： | 2011-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102508410A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张继宗;夏丁福;沈一鸣;葛海雄;袁长胜;陈延峰 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新型的纳米压印模板—具备三明治结构的纳米压印复合模板，以及其制备方法。该复合模板由三层不同力学性能的材料组成，分别为塑性的支撑层，弹性的缓冲层以及刚性的压印结构层；弹性的缓冲层被夹心在塑性的支撑层与刚性的压印结构层之间，形成三明治结构；三明治结构的上中下三层之间可通过粘接或化学键合紧密连接。利用本发明的三明治结构复合模板能够有效降低纳米压印过程中由于环境中的颗粒引起的大面积缺陷问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 结构 复合 纳米 压印 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种三明治结构复合纳米压印模板，其特征在于，所述模板由三层不同力学性能的材料组成，分别为塑性的支撑层，弹性的缓冲层以及刚性的压印结构层；所述弹性的缓冲层被夹心在塑性的支撑层与刚性的压印结构层之间，形成三明治结构；所述三明治结构的上中下三层之间通过粘接或化学键合紧密连接。
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