[发明专利]用于等离子体应用和/或感应加热应用的功率供给系统有效

专利信息
申请号: 201110330675.9 申请日: 2011-10-20
公开(公告)号: CN102458031B 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: T·波尔;U·黑勒;H·拉施克;R·戈特沙尔克;R·舍费尔 申请(专利权)人: 许廷格电子两合公司
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24;H05B6/06;H01J37/32
代理公司: 永新专利商标代理有限公司72002 代理人: 曾立
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于等离子体应用和/或感应加热应用的功率供给系统(100,200),其具有a.至少两个不同类型的可控制的功率发生器(10,30),其分别分配有一个标识(13,33),b.用于控制所述功率发生器(10,30)中的至少一个的操作单元(12,32),具有i.显示装置(17,37),在所述显示装置上可显示图形用户界面(70),ii.输入装置(18,38),所述输入装置用于操纵所述图形用户界面(70),iii.操作应用(19,39),所述操作应用读取与其连接的功率发生器(10,30)的标识(13,33)并且根据针对每个功率发生器(10,30)存放的、特定于发生器的配置数据(16,36)和所述标识(13,33)在所述显示装置(17,37)上建立所述图形用户界面。
搜索关键词: 用于 等离子体 应用 感应 加热 功率 供给 系统
【主权项】:
用于等离子体应用和/或感应加热应用的功率供给系统(100,200),其具有:a.至少两个不同类型的可控制的功率发生器(10,30),它们分别分配有一个标识(13,33),b.用于控制所述功率发生器(10,30)中的至少一个的操作单元(12,32),所述操作单元具有i.显示装置(17,37),在所述显示装置上可显示图形用户界面(70),ii.输入装置(18,38),所述输入装置用于操纵所述图形用户界面(70),iii.操作应用(19,39),所述操作应用读取与所述操作单元连接的功率发生器(10,30)的标识(13,33)并且根据针对每个功率发生器(10,30)存放的、特定于发生器的配置数据(16,36)和所述标识(13,33)在所述显示装置(17,37)上建立所述图形用户界面,所述配置数据包括特定于发生器的参数数据和/或可视化数据,所述参数数据描述对于相应功率发生器而言已知的所有参数或者这些参数的子集,所述可视化数据描述所有待可视化的参数和应当如何在所述图形用户界面上显示这些参数的方式方法。
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