[发明专利]镀膜装置无效
| 申请号： | 201110322694.7 | 申请日： | 2011-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN103060759A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 黄登聪;彭立全 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种镀膜装置，用于对待镀膜工件进行镀膜，该镀膜装置包括承载台及至少一对导电平板，该承载台包括一承载面，用以承载该待镀膜工件且使该待镀膜工件置于该导电平板形成的电场中，面向该承载台的承载面且间隔该承载面设有一离子源，该导电平板垂直于该承载台的承载面设置于承载台上，并以待镀膜工件为中心对称设置于其两侧，该导电平板相对于镀膜工件匀速旋转。本发明克服传统镀膜对尺寸较小的工件镀膜效果不好的问题，且加工成本低，适合大规模量产使用。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，用于对待镀膜工件进行镀膜，其特征在于：该镀膜装置包括承载台及至少一对导电平板，该承载台包括一承载面，用以承载该待镀膜工件且使该待镀膜工件置于该导电平板形成的电场中，面向该承载台的承载面且间隔该承载面设有一离子源，该导电平板垂直于该承载台的承载面设置于承载台上，并以待镀膜工件为中心对称设置于其两侧，该导电平板相对于镀膜工件匀速旋转。
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