[发明专利]大气压脉冲调制微波等离子体发生装置

摘要

一种大气压脉冲调制微波等离子体发生装置，属于微波等离子体技术领域。其特征是微波经波导管(1)传输到梯形波导转换装置(2)的矩形波导端建立TE10模，短路端口为活动的金属匹配挡板(3)，在矩形波导端的上下两个波导壁与TE10模的波腹对应的位置附近开一对圆形开口，绝缘细管(4)顺着电场强度方向竖直安装在相对的圆形开口中心处，绝缘细管(4)的一端插入针状电极(5)，该针状电极(5)由高压交流电源(6)驱动。本发明的效果和益处是在常压开放的条件下脉冲调制的微波能量输出稳定连续，通过调整脉冲占空比控制等离子体的温度，在表面改性处理、生物杀菌、有害气脱除等诸多相关领域得到应用。

主权项

一种大气压脉冲调制微波等离子体发生装置，由微波磁控管，环行器，矩形波导管，三销钉匹配波导管，波导管(1)，梯形波导转换装置(2)，金属匹配挡板(3)，绝缘细管(4)，针状电极(5)，高压交流电源(6)，绝缘固定底托(7)构成，其特征在于：由磁控管产生的微波经回旋隔离器，方向耦合器，三销钉阻抗匹配器，波导管(1)传输到梯形波导转换装置(2)的低阻抗矩形波导端建立TE10模，其短路端口为由步进电机驱动的活动的金属匹配挡板(3)，在梯形波导转换装置(2)的矩形波导端的上下两个波导壁与TE10模的波腹对应的位置处开一对圆形开口，绝缘细管(4)顺着电场强度方向竖直安装在相对的圆形开口中心处，由绝缘固定底托(7)固定起来；绝缘细管(4)的一端插入针状电极(5)并密封好，工作气体由固定针状电极(5)的一端进入绝缘细管(4)；该针状电极(5)由频率可调的高压交流电源(6)驱动。