[发明专利]便携式光纤干涉三坐标测量机及测量三坐标的方法无效
申请号: | 201110315949.7 | 申请日: | 2011-10-18 |
公开(公告)号: | CN102506706A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 黄风山;李保章;黄风海;方忆湘;崔彦平 | 申请(专利权)人: | 河北科技大学;灵寿县福兴气瓶厂 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 石家庄科诚专利事务所 13113 | 代理人: | 张红卫 |
地址: | 050018 河北省石家*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种便携式光纤干涉三坐标测量机及测量三坐标的方法,该测量机包括光纤衍射球面波发生装置、光纤笔、球面波干涉光强度测量仪,其测量方法是采用多参考点多边测量原则,组成非线性超定方程组,应用最小二乘迭代方法,求解出两光纤球面波出射端中心A、B在o-xyz坐标系中的坐标,再利用共线条件求解出光纤笔笔尖(被测点)的三维坐标。本发明的构件组成简单,成本低廉,测量时易于操作且测量结果可靠,测量精度可达到1um,如果有效增大CCD光电探测器阵列的尺寸,测量精度可提高到0.1um。本发明适用于在任何场合进行三维坐标的测量。 | ||
搜索关键词: | 便携式 光纤 干涉 坐标 测量 标的 方法 | ||
【主权项】:
一种便携式光纤干涉三坐标测量机,其特征在于:它包括光纤衍射球面波发生装置、光纤笔(2)、球面波干涉光强度测量仪(1),其中:一、光纤衍射球面波发生装置与光纤笔①光纤衍射球面波发生装置包括半导体激光器(9)、激光输入耦合器(8)、耦合用单模光纤(7)、激光耦合器(5)、移相器(4)、单模光纤(101与102)、光纤固定环(3);②半导体激光器(9)、激光输入耦合器(8)、耦合用单模光纤(7)、激光耦合器(5)依次相串接;③单模光纤(101与102)的一端连接于激光耦合器(5)的输出光束端,它们分别经移相器后将它们的经研磨的出射端于光纤笔(2)的固定环(3)上固定,它们的出射端的端面中心与位于它们下方的光纤笔(2)的笔尖测头中心共线;二、球面波干涉光强度测量仪(1)①球面波干涉光强度测量仪(1)为由CCD光电探测器组成的二维阵列;②球面波干涉光强度测量仪(1)位于两单模光纤(101与102)两出射端端面的前方,它们之间有距离;③激光耦合器的输入光束端连接有独立的CCD光电探测器(6),用来检测两单模光纤(101与102)的出射端发射回来的光干涉强度。
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