[发明专利]一种锥形多层脊波导结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201110313020.0 | 申请日： | 2011-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN103048733B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 李冰;叶果;李小刚 | 申请（专利权）人： | 上海圭光科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/136 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种锥形多层脊波导结构及其制作方法。所述锥形多层脊波导结构的层数为三层以上，包括耦合端和压缩端，其中，位于非底层和非顶层的台阶的高度从耦合端到压缩端逐渐减小。本发明公开的制作方法，工艺实施顺序是先刻蚀，接着进行外延生长单晶硅，然后对外延生长单晶硅进行刻蚀成型。首先在硅片上刻蚀形成硅槽，定义出目标器件区；填充硅槽，并对硅片表面平坦化后，在硅片上沉积选择性外延掩模物质；然后在目标器件区上选择性外延生长单晶硅；最后对选择性外延生长单晶硅刻蚀成型。本发明公开的多层脊波导结构可以有效的减小脊波导的传输损耗，同时提高脊波导的耦合效率；其制作方法则无需克服微负载效应，简化了工序。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锥形 多层 波导 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种锥形多层脊波导结构，其层数为三层以上，包括耦合端和压缩端，其特征在于，位于非底层和非顶层的台阶的高度从耦合端到压缩端逐渐减小，各层台阶的宽度从耦合端到压缩端逐渐减小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海圭光科技有限公司，未经上海圭光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110313020.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电磁铁的制作方法
- 下一篇：一种卤煮香料
