[发明专利]一种晶硅电池的三步变温扩散工艺在审
| 申请号： | 201110308413.2 | 申请日： | 2011-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102383198A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 何晨旭;杨雷;殷海亭;凌振江;陈阳泉;王冬松;王步峰 | 申请（专利权）人： | 润峰电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 王立晓 |
| 地址： | 277600 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶硅电池的三步变温扩散工艺，将制绒后的硅片进舟后先升温到700～810℃通入大氮、小氮和氧气进行低温预沉积扩散；再升温到810～830℃，通入大氮进行推结；然后通入大氮、小氮和氧气，将炉温升高到830～870℃进行再次沉积扩散。本发明扩散后形成的多级PN结结构，一方面能够保证与金属栅线形成良好的欧姆接触；另一方面能够有很好的蓝光响应；除此之外，此种方法形成的PN结的结深较大，可以减少PN结烧穿、漏电、复合的发生几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电池 三步变温 扩散 工艺 | ||
【主权项】：
一种晶硅电池的三步变温扩散工艺，其特征是，包括步骤如下：(1)将制绒后的硅片进舟后先升温到700～810℃通入大氮、小氮和氧气进行低温预沉积扩散；(2)升温到810～830℃，通入大氮进行推结；(3)通入大氮、小氮和氧气，将炉温升高到830～870℃进行再次沉积扩散。
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