[发明专利]一种激光加工自动调焦装置有效
| 申请号： | 201110303415.2 | 申请日： | 2011-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN102430858A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 段军;李祥友;王泽敏;胡乾午;曾晓雁 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;G02B7/28 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光加工自动调焦装置，该装置包括Z轴移动系统、激光聚焦系统、控制系统和激光位移检测系统，控制系统与Z轴移动系统及激光位移检测系统电连接，激光位移检测系统与激光聚焦系统刚性连接在一起固定在Z轴移动系统上，随Z轴移动系统沿Z轴方向上下移动；控制系统根据激光位移检测系统提供的电信号的符号和幅值控制Z轴移动系统的位移。本发明具有如下优点：不受材料性质的限制，即：金属和非金属均可应用，应用范围广；由于是非接触测量，不受材料表面情况限制，不会损坏材料表面；检测精度高，可达纳米级精度，故可用于纳米级的激光自动调焦高进度应用；结构简单，价格低廉、稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 自动 调焦 装置 | ||
【主权项】：
一种激光加工自动调焦装置，该装置包括Z轴移动系统(1)、激光聚焦系统(3)和控制系统(9)；其特征在于，该装置还包括激光位移检测系统(7)，控制系统(9)与Z轴移动系统(1)及激光位移检测系统(7)电连接，激光位移检测系统7与激光聚焦系统(3)刚性连接在一起固定在Z轴移动系统(1)上，随Z轴移动系统(1)沿Z轴方向上下移动；控制系统(9)根据激光位移检测系统(7)提供的电信号的符号和幅值控制Z轴移动系统(1)的位移。
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