[发明专利]一种拉曼原子力显微检测装置及方法无效
申请号: | 201110295696.1 | 申请日: | 2011-09-28 |
公开(公告)号: | CN102384985A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 张冬仙;史斌;吴兰;章海军 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01Q60/02 | 分类号: | G01Q60/02;G01Q60/24;G01N21/65 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 张法高 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种拉曼原子力显微检测装置及方法。光学平台上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱、第一固定块,光学平台上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱、第二固定块,第一支撑柱、第二支撑柱上端固定有支撑横梁,支撑横梁上方设有X向步进电控平移台,X向步进电控平移台上设有滑动块,滑动块下端设有Z向移动轨道,在Z向移动轨道上设有L型固定块,在L型固定块上设有原子力显微探头横梁,在原子力显微探头横梁上设有原子力显微探头,在原子力显微探头的两侧分别设有拉曼光谱显微探测头和光学显微镜,光学平台上从下到上顺次设有Y向步进电控平移台、样品台、待测样品。本发明可以实时在线地获得样品的微纳米形貌结构信息和显微拉曼光谱信息。 | ||
搜索关键词: | 一种 原子 显微 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种拉曼原子力显微检测装置,其特征在于包括原子力显微探头(1)、拉曼光谱显微探测头(2)、光学显微镜(3)、滑动块(4)、光学平台(5)、Y向步进电控平移台(6)、样品台(7)、待测样品(8)、第一固定块(9)、第二固定块(10)、第一支撑柱(11)、第二支撑柱(12)、支撑横梁(13)、 X向步进电控平移台(14)、L型固定块(15)、Z向移动轨道(16)、原子力显微探头横梁(17);光学平台(5)上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱(11)、第一固定块(9),光学平台(5)上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱(12)、第二固定块(10),第一支撑柱(11)、第二支撑柱(12)上端固定有支撑横梁(13),支撑横梁(13)上方设有X向步进电控平移台(14),X向步进电控平移台(14)上设有滑动块(4),滑动块(4)下端设有Z向移动轨道(16),在Z向移动轨道(16)上设有L型固定块(15),在L型固定块(15)上设有原子力显微探头横梁(17),在原子力显微探头横梁(17)上设有原子力显微探头(1),在原子力显微探头(1)的两侧分别设有拉曼光谱显微探测头(2)和光学显微镜(3),光学平台(5)上从下到上顺次设有Y向步进电控平移台(6)、样品台(7)、待测样品(8)。
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