[发明专利]合成石英玻璃基板抛光浆料和利用该抛光浆料制造合成石英玻璃基板有效
| 申请号： | 201110286406.7 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN102516872A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 松井晴信;原田大实;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B29/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种包括胶原衍生物和胶体溶液的抛光浆料，其有效抛光合成石英玻璃基板。其防止具有可被高灵敏度缺陷探测仪检测到的尺寸的缺陷的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 石英玻璃 抛光 浆料 利用 制造 | ||
【主权项】：
用于合成石英玻璃基板的抛光浆料，包括胶原衍生物和胶体溶液。
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