[发明专利]一种多晶硅提纯铸锭炉控制系统无效
| 申请号： | 201110283170.1 | 申请日： | 2011-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN103014848A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李荣华 | 申请（专利权）人： | 吴江亿泰光伏设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;G05D23/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅提纯铸锭炉控制系统，其分为全自动控制系统和手动控制系统两部分，全自动控制系统分为抽真空检漏和自动运行两部分，所述抽真空检漏，通过PLC可编程控制器，依次打开机组和气动阀门，在抽到极限真空后保压来判断是否检漏通过；自动运行是处理元件根据配方中的步骤来给PLC可编程控制器信号使其按部运行，自动运行分为预热阶段、熔化阶段、提纯阶段、长晶阶段、退火阶段和冷却阶段六个阶段。本发明所述控制系统控制方便、功能强大、系统稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 提纯 铸锭 控制系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅提纯铸锭炉控制系统，其特征在于，其分为全自动控制系统和手动控制系统两部分，全自动控制系统分为抽真空检漏和自动运行两部分，所述抽真空检漏，通过PLC可编程控制器，依次打开机组和气动阀门，在抽到极限真空后保压来判断是否检漏通过；自动运行是处理元件根据配方中的步骤来给PLC可编程控制器信号使其按部运行，自动运行分为预热阶段、熔化阶段、提纯阶段、长晶阶段、退火阶段和冷却阶段六个阶段。
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