[发明专利]湿度稳定的闪烁体有效
申请号: | 201110282640.2 | 申请日: | 2011-09-22 |
公开(公告)号: | CN102419449A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | O.海登;M.斯拉梅克;S.F.泰德 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 郝俊梅 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种基于间接转换的X射线探测器。为此优选使用的闪烁体材料是吸湿的。为了使探测器有高的稳定性和长的使用寿命,闪烁体必须防水。按本发明这借助一种原子层沉积(ALD)过程通过保护层的生长实现。这种沉积方法的优点是,在要敷层的柱状或颗粒状的闪烁体具有大的长径比的情况下保证各向同性的涂层。 | ||
搜索关键词: | 湿度 稳定 闪烁 | ||
【主权项】:
一种具有至少一个闪烁体的装置,其中,闪烁体有至少一个原子层沉积层,其中,所述原子层沉积层生长在闪烁体上。
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