[发明专利]一种测头扫描式原子力显微镜无效
| 申请号： | 201110270933.9 | 申请日： | 2011-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102353816A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 高思田;李伟;卢明臻;施玉书;杜华 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01B9/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 100013 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测头扫描式原子力显微镜，包括：位移台，在XYZ方向移动以进行扫描，固定设置有跟踪透镜以及微悬臂探针，该跟踪透镜用于对入射光进行汇聚，该微悬臂探针对该跟踪透镜的出射光进行反射，该微悬臂探针的顶端始终位于该跟踪透镜的焦点处，使得在该位移台移动时，该跟踪透镜的出射光始终汇聚在该微悬臂探针上的同一位置；测头基座，该测头基座上设置有汇聚透镜以及位置灵敏探测器，该汇聚透镜用于接收该微悬臂探针的反射光并进行汇聚，使得该汇聚透镜的出射光线形成的光斑的中心始终位于位置灵敏探测器上的同一位置。本发明的技术效果在于，实现扫描面为平面，在扫描过程中消除测头横向移动时对光斑位置产生的影响，减少测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 原子 显微镜 | ||
【主权项】：
一种测头扫描式原子力显微镜，其特征在于，包括：位移台，该位移台可在XYZ方向移动以进行扫描，该位移台上固定设置有跟踪透镜以及微悬臂探针，该微悬臂探针跟随该位移台做平面扫描，该跟踪透镜用于对入射光进行汇聚，该微悬臂探针对该跟踪透镜的出射光进行反射，该微悬臂探针的顶端始终位于该跟踪透镜的焦点处，使得在该位移台移动时，该跟踪透镜的出射光始终汇聚在该微悬臂探针上的同一位置；以及测头基座，该测头基座上设置有汇聚透镜以及位置灵敏探测器，该汇聚透镜用于接收该微悬臂探针的反射光并进行汇聚，使得该汇聚透镜的出射光线形成的光斑的中心始终位于位置灵敏探测器上的同一位置。
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