[发明专利]射频功率分配装置无效
| 申请号： | 201110263535.4 | 申请日： | 2011-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102969554A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 李炳寰;杨主见;黄维致;黄俊凯;叶昌鑫 | 申请（专利权）人： | 亚树科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01P5/12 | 分类号： | H01P5/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种射频功率分配装置，其利用二阶段的功率分配单元，以特定尺寸及阻抗的同轴传输线对射频功率进行均分，可将输入射频功率均分为四份。藉此，可将输入该装置的射频功率进行有效分配及输出，并应用于电浆装置。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 功率 分配 装置 | ||
【主权项】：
一种射频功率分配装置，其特征在于，包含：一功率输入单元，具有一第一输入端及一第一输出端；一第一功率分配单元，具有一第二输入端及二第二输出端，该第二输入端电性连接于第一输出端，该第二输入端至该第二输出端的长度为操作频率的四分之一波长，该第一功率分配单元是用以均分自该第一输出端所输出的射频功率；以及多个第二功率分配单元，每一第二功率分配单元具有一第三输入端及二第三输出端，该第三输入端电性连接于该第二输出端，该第三输入端至该第三输出端的长度为操作频率的四分之一波长，该第二功率分配单元用以均分自该第二输出端所输出的射频功率。
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