[发明专利]一种检测器件有无镀层的方法无效
| 申请号： | 201110251657.1 | 申请日： | 2011-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN102323625A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 闫武杰 | 申请（专利权）人： | 上海华碧检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01V9/00 | 分类号： | G01V9/00;G01N23/227 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测器件有无镀层的方法，该方法包括以下步骤：A、使用扫描电镜和能谱仪对器件的表面元素进行成份分析；B、将器件的表层去除，使用俄歇电子能谱仪对器件的基材元素成份进行分析；C、比较器件表面元素成份和基材的元素成份，如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同，则说明没有镀层，否则说明有镀层。本发明有如下优点：本发明方法操作步骤少，操作简便，可快速准确判断出器件表面是否有镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 器件 有无 镀层 方法 | ||
【主权项】：
一种检测器件有无镀层的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：A、使用扫描电镜和能谱仪对器件的表面元素进行成份分析；B、将器件的表层去除，使用俄歇电子能谱仪对器件的基材元素成份进行分析；C、比较器件表面元素成份和基材的元素成份，如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同，则说明没有镀层，否则说明有镀层。
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