[发明专利]多孔质玻璃母材的制造方法以及制造装置

摘要

本发明提供一种多孔质玻璃母材制造方法及制造装置，其在利用VAD方法制造光纤用多孔质玻璃母材时，使多孔质玻璃母材的特性在长度方向上稳定且其中难以混入气泡。利用设置在反应容器上的至少大于或等于1个喷管喷出含有玻璃原料气体及燃烧气体的反应气体，使由反应气体反应而生成的玻璃微粒堆叠在标靶上，制作多孔质玻璃母材。在多孔质玻璃母材制造方法中，在反应容器的壁面(21a)上设置净化空气喷出口，其喷出口下端部位于原料投入量最多的喷管的下端部的下方位置处。将净化空气喷出口以朝向排气口的方式设定为朝向上方，从净化空气喷出口向反应容器供给净化空气，其中，该排气口位于与喷管相对的壁面(21b)上，与喷管相比在上方开口。

主权项

一种多孔质玻璃母材的制造装置，其包含：反应容器，其具有净化空气喷出口及排气口；以及大于或等于一个的喷管，其将含有玻璃原料气体及燃烧气体的反应气体向所述反应容器内喷出，所述净化空气喷出口位于所述反应容器的设置有所述大于或等于一个的喷管中原料投入量最多的喷管的壁面上，所述排气口位于所述反应容器的与所述原料投入量最多的喷管相对的壁面上，所述反应气体进行反应而生成的玻璃微粒堆叠在标靶上，并使该标靶向上方升起，沿轴向使多孔质玻璃母材堆叠，该多孔质玻璃母材的制造装置的特征在于，所述净化空气喷出口的下端位于所述原料投入量最多的喷管的下端的下方，所述排气口的开口部的下端位于所述原料投入量最多的喷管的下端的上方，所述净化空气喷出口下端的管路向上方倾斜。