[发明专利]一种加热装置及应用该加热装置的等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201110216867.7 | 申请日： | 2011-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN102905405A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 南建辉;李永军 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加热装置，用于对载板进行加热，该加热装置与载板相对设置，并且，加热装置上与载板相对的表面为曲面，该曲面与载板之间的距离沿上述曲面的中心点到边缘的方向逐渐减小。采用本发明提供的加热装置对载板进行加热时能够减小载板中心区域和边缘区域之间的温度差，从而可有效提高载板温度的均匀性，进而为提高工艺质量的稳定性提供有力保障。本发明还提供了一种等离子体加工设备，其采用上述加热装置对工艺腔室中的载板进行加热，因此，本发明提供的等离子体加工设备同样能够减小载板的温度差，从而提高载板温度的均匀性，进而为提高工艺质量的稳定性提供有力保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 装置 应用 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种加热装置，用于对载板进行辐射加热，所述加热装置与所述载板相对设置，其特征在于，所述加热装置上与所述载板相对的表面为曲面，所述曲面与所述载板之间的距离沿所述曲面的中心点到边缘的方向逐渐减小。
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