[发明专利]一种蓝宝石衬底减薄的方法无效
| 申请号： | 201110212971.9 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102896424A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 陈霆 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蓝宝石衬底减薄的方法，先采用飞秒激光辐照蓝宝石衬底产生色心，再用紫外激光扫描蓝宝石衬底表面。本发明提供的采用激光减薄蓝宝石衬底的方法，相比于接触式研磨和抛光，对蓝宝石衬底不会施加压力，衬底不易出现破裂或表面有裂纹的情况；而且整个过程中，产生的热量较小，可有效降低热效应对外延片光电性能的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底减薄的方法，其特征在于，先采用飞秒激光辐照蓝宝石衬底产生色心，再用紫外激光扫描蓝宝石衬底表面。
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