[发明专利]传感器器件和制造方法在审
| 申请号： | 201110212712.6 | 申请日： | 2011-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102346165A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 纪尧姆·伯卡迪;马格利·休格特·艾利斯·兰伯特 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416;G01N33/543;H01L23/532 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种传感器器件(10)，包括承载感测元件(110)的基板(100)以及在所述基板上用于为所述感测元件提供互连的金属化堆叠，所述金属化堆叠包括：被绝缘层(120a-d)分离的多个图案化金属层(130a-d)，其中，第一金属层(130c)包括与感测元件导电地连接的电极部分(16)，面对第一金属层的另一金属层(130d)包括基准电极部分(18)，从金属化堆叠的顶部可访问的流体沟道(14)将电极部分和基准电极部分分离。本发明还公开了一种制造这种传感器器件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种传感器器件(10)，包括承载感测元件(110)的基板(100)以及在所述基板上用于为所述感测元件提供互连的金属化堆叠，所述金属化堆叠包括：被绝缘层(120a‑d)分离的多个图案化金属层(130a‑d)，其中第一金属层(130c)包括与感测元件导电地连接的电极部分(16)，面对第一金属层的另一金属层(130d)包括基准电极部分(18)，从金属化堆叠的顶部可访问的流体沟道(14)将电极部分和基准电极部分分离。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于NXP股份有限公司，未经NXP股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110212712.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带有取卡扳机的卡片式蠕动泵泵头
- 下一篇：一种三叉式汽车主消声器
