[发明专利]一种光学投影系统无效
| 申请号： | 201110212622.7 | 申请日： | 2011-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102279460A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王昕歌 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G02B13/22 | 分类号： | G02B13/22;G02B27/00;G02B1/00;G02B3/00 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 郭桂峰 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内，从物方到像方沿光轴方向依次设置有：第一至第八透镜，光阑设在第四透镜和第五透镜之间，其中，所述第一至第四透镜组合镜组的后焦点位于光阑的中心，第五至第八透镜组合镜组的前焦点位于光阑的中心，通过上述结构形成双远心结构。本发明的投影光学系统，如果选择比较容易实现的工艺因子K1＝1.0，光刻分辨率完全可以达到15um，足以满足用于印刷电路板(PCB)的激光直接成像(LDI)光刻装备的技术要求，而且选择高透过率光学材料，可以适用于大剂量曝光要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 投影 系统 | ||
【主权项】：
一种投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内，其特征在于，从物方到像方沿光轴方向依次设置有：第一至第八透镜，光阑设在第四透镜和第五透镜之间，其中，所述第一至第四透镜组合镜组的后焦点位于光阑的中心，第五至第八透镜组合镜组的前焦点位于光阑的中心，通过上述结构形成双远心结构。
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