[发明专利]形成图案的方法及采用该方法形成有图案的壳体无效
申请号: | 201110203623.5 | 申请日: | 2011-07-20 |
公开(公告)号: | CN102890403A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 周景瑜;吴长锦 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/20;G03F7/30;G03F7/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种形成图案的方法,其用于在曲面上形成图案,其包括以下步骤:在曲面上形成光阻层;提供光罩,使所述光罩设置于所述曲面上方,且所述光罩上开设有透光孔;提供光源,并对形成于所述曲面的光阻层进行曝光;对经过曝光的光阻层进行显影;对显影后的光阻层进行清洗,以在所述曲面上形成所述图案。上述形成于曲面上的图案的形状可通过透光孔的形状来控制,避免采用直接喷墨方法在曲面上形成图案,从而提高图案的解析度,同时,步骤简单,所需设备结构较简单,成本较低。还提供一种采用上述方法形成有图案的壳体。 | ||
搜索关键词: | 形成 图案 方法 采用 壳体 | ||
【主权项】:
一种形成图案的方法,其用于在物件的曲面上形成图案,其包括以下步骤:在所述曲面上形成光阻层,所述光阻层的材料为负光阻材料;提供光罩,使所述光罩设置于所述曲面上方,且所述光罩上开设有透光孔,所述透光孔的形状与所述图案的形状相对应;提供光源,并对形成于所述曲面的光阻层进行曝光;对经过曝光的光阻层进行显影;对显影后的光阻层进行清洗,以在所述曲面上形成所述图案。
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