[发明专利]一种沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜及其制作方法有效
| 申请号： | 201110191627.6 | 申请日： | 2011-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102269869A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 乔大勇;康宝鹏;燕斌;刘耀波 | 申请（专利权）人： | 西安励德微系统科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710075 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜及其制作方法，属于微光机电系统(MOEMS)领域。该微扭转镜利用沟槽使微扭转镜两边的固定锚点隔离为三部分：中间部分锚点为隔离接地的引线固定锚点，两侧部分锚点为隔离测试的引线固定锚点。当给加电引线锚点4和隔离加电引线锚点7组成的驱动端加驱动电压时，驱动梳齿对在静电力的作用下带动整个镜面转动；将四个隔离测试引线锚点9连接成一根引线与连接镜面的测试引线锚点3作为测试端，以此通过检测电容的变化实现系统的闭环控制。该微扭转镜结构简单，设计方法新颖，效果显著，能够有效的测量出活动梳齿和固定梳齿之间电容，为微扭转镜器件的性能可靠性和准确性提供了保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沟槽 隔离 梳齿 扭转 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜，包括镜面，所述镜面通过两根支撑梁(2)分别悬置在加电引线锚点(4)和测试引线锚点(3)上；镜面两侧的两组活动梳齿(5)分别与位于两个固定锚点上的两组固定梳齿(6)构成梳齿对；其特征在于：所述固定锚点被两个固定锚点隔离槽(8)隔离成三部分：中间部分的隔离加电引线锚点(7)和两侧部分的隔离测试引线锚点(9)；所述的隔离加电引线锚点(7)上的固定梳齿(6)和与之对应的活动梳齿(5)构成驱动梳齿对；所述隔离测试引线锚点(9)上的固定梳齿(6)和与之对应活动梳齿(5)构成检测梳齿对。
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