[发明专利]一种检测晶片的调节装置无效
| 申请号： | 201110186455.3 | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN102866432A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 林萍;伍三忠;彭立波 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/12 | 分类号： | G01V8/12;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测晶片的调节装置，该装置包括：2个调节螺钉1、1个固定螺钉2、1个激光器3、1个接收器4。其特征在于：激光器3的激光随着调节螺钉1的松动而变化方向，此装置要先调整调节螺钉1，两个调节螺钉1交换调节，直至激光器3的激光在无晶片的情况下，接收器4接收到激光。就表明调节螺钉1调整完毕，在拧紧固定螺钉2。固定螺钉2用来固定此调节装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 晶片 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种检测晶片的调节装置，其特征在于：该装置包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。其特征在于：激光器(3)的激光随着调节螺钉(1)的松动而变化方向，此装置要先调整调节螺钉(1)，两个调节螺钉(1)交换调节，直至激光器(3)的激光在无晶片的情况下，接收器(4)接收到激光。就表明调节螺钉(1)调整完毕，在拧紧固定螺钉(2)。固定螺钉(2)用来固定此调节装置。
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