[发明专利]坩埚喷涂加热旋转台的温控方法无效
| 申请号： | 201110185268.3 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102344253A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 应建平;徐志军;刘平 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种坩埚喷涂加热旋转台的温控方法，该方法为：在四块侧板及底板上分别装入一个热电偶，热电偶测得的信号传送至温控器，加热板的接线从温控器的常闭端子通过，即温控器充当一个开关的角色，当热电偶测得的温度大于温控器的设定值时，加热板停止加热，温度低于设定的下限值时，加热板加热。本发明的有益效果是：提高了喷涂质量，节约能源。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 喷涂 加热 旋转 温控 方法 | ||
【主权项】：
一种坩埚喷涂加热旋转台的温控方法，其特征是：在四块侧板及底板上分别装入一个热电偶，热电偶测得的信号传送至温控器，加热板的接线从温控器的常闭端子通过，即温控器充当一个开关的角色，当热电偶测得的温度大于温控器的设定值时，加热板停止加热，温度低于设定的下限值时，加热板加热。
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