[发明专利]包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物有效
| 申请号： | 201110176511.5 | 申请日： | 2011-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102731715A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 申珍奉;金真湖;申大铉;李承宰 | 申请（专利权）人： | 韩国锦湖石油化学株式会社 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F232/08;C08F222/26;C08F222/14;C08F220/28;G03F7/004;G03F7/00;H01L21/312 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 黄丽娟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物。根据本发明的一个实施例的光刻胶用树脂合成物，包括：100个重量单位的以下列化学式3表示的共聚物；0.5到15个重量单位的光酸发生剂；和700到1500个重量单位的溶剂。[化学式3]在该化学式中，R1、R2和R3分别相互独立地表示包括或不包括氢基、醚基(ether group)、酯基(ester group)、羰基(carbonyl group)、缩醛基(acetal group)、环氧基(epoxy group)、腈基(nitrile group)、醛基(aldehyde group)的C1-30的烷基(alkyl group)或C3-30的环烷基(cyclo alkyl group)，R4、R5和R5分别相互独立地表示氢基或甲基(methyl group)，l、m、n和o作为分别表示主锁内重复单位的数目，具有l+m+n+o＝l、0≤l/(l+m+n+o)＜0.4、0＜m/(l+m+n+o)＜0.6、0≤n/(l+m+n+o)＜0.6和0＜o/(l+m+n+o)＜0.4的值。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 丙烯酸 单体 光刻 共聚物 树脂 合成物 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶用共聚物，其包括降冰片烯(norbomene)衍生物和下列化学式1与下列化学式2所表示的丙烯酸(acrylic)系单体(monomer)中至少一种单体作为其重复单位。[化学式1]![]()
[化学式2]![]()
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