[发明专利]一种扩束准直系统波面像差检测装置及方法

摘要

本发明提出一种扩束准直系统波面像差检测装置及方法，其中所述检测装置包括剪切单元、调节单元、光电探测单元、存储单元以及信号处理单元；其中，剪切单元与光电探测单元依次设置于扩束准直系统出射光束的光路上，剪切单元位于扩束准直系统与光电探测单元之间；剪切单元包括一维位相光栅A和一维位相光栅B，用于实现对入射光波的剪切；两一维位相光栅上两相邻透光部分之间的非透光部分的宽度为p/6，透光部分的宽度为p/3，p为一维位相光栅的周期；设定p≥16β，β为光电探测单元的像元尺寸。本装置可消除±3级及±3的倍级衍射光的影响，所形成的干涉波光的能量主要集中在±1级衍射光波中，消除了其他倍数级衍射光波对波面像差检测的影响，从而提高了检测精度。

主权项

一种扩束准直系统波面像差检测装置，其特征在于，包括剪切单元、调节单元、光电探测单元、存储单元以及信号处理单元；其中，剪切单元与光电探测单元依次设置于扩束准直系统出射光束的光路上，剪切单元位于扩束准直系统与光电探测单元之间；剪切单元包括一维位相光栅A和一维位相光栅B，一维位相光栅A和一维位相光栅B相互平行并与所述出射光束的光路垂直，用于实现对入射光波的剪切；其中，一维位相光栅A和一维位相光栅B的结构相同，其上相邻透光部分设置不同的刻蚀深度使透过相邻透光部分的光波存在180°相位差；同时，两相邻透光部分之间的非透光部分的宽度为p/6，透光部分的宽度为p/3，p为一维位相光栅的周期；设定p≥16β，β为光电探测单元的像元尺寸；调节单元与一维位相光栅A和一维位相光栅B分别相连，用于实现对一维位相光栅A和一维位相光栅B的旋转以及位置的调节；光电探测单元与存储单元相连，用于采集剪切产生的剪切干涉图并传输给存储单元；存储单元与信号处理单元相连，用于存储光电探测单元传输过来的剪切干涉图，以及用于存储信号处理单元传输过来的扩束准直系统的波面像差；信号处理单元用于根据存储单元存储的剪切干涉图计算扩束准直系统的波面像差。