[发明专利]一种自由曲面面型检测系统

摘要

本发明公开了一种自由曲面面型检测系统，包括：激光发生器、准直镜、第一计算全息元件、第二计算全息元件、投影镜、照明系统、空间滤波器、CCD图像传感器；其中，所述第一计算全息元件用于对所述平行光进行第一次衍射；所述第二计算全息元件用于衍射经第一计算全息元件衍射的一级光；所述空间滤波器，用于将干扰杂散光滤除；所述CCD图像传感器，用于获取干涉图像。本发明公开的自由曲面面型检测系统，基于斐索干涉原理，通过对干涉图像(具体为干涉条纹)进行分析，得到自由曲面面型误差，因此能够对自由曲面面型进行非接触式检测，并且提高对自由曲面面型检测的精度。

主权项

一种自由曲面面型检测系统，其特征在于，包括：激光发生器、准直镜、第一计算全息元件、第二计算全息元件、投影镜、照明系统、空间滤波器、CCD图像传感器；其中，所述激光发生器用于发射检测光线；所述准直镜用于将所述检测光线调整为平行光；所述第一计算全息元件用于对所述平行光进行第一次衍射；所述第二计算全息元件用于衍射经第一计算全息元件衍射的一级光；所述投影镜用于将经过第二次衍射的光投射在所述照明系统上；所述照明系统用于将检测光和参考光汇聚在所述空间滤波器的中心点；其中，所述参考光为，经过所述第二计算全息元件衍射后的0级衍射光，在所述照明系统的与所述待检测自由曲面相邻的表面反射形成的光线；所述检测光为，经过所述第二计算全息元件衍射后的1级衍射光，在所述待检测自由曲面的表面反射形成的光线；所述空间滤波器，用于将干扰杂散光滤除；所述CCD图像传感器，用于获取干涉图像；所述干涉图像为，经过所述空间滤波器过滤的，所述参考光与所述检测光形成的干涉图像。