[发明专利]一种气体激光器弧光放电保护系统

摘要

本发明的气体激光器弧光放电保护系统属于自动控制领域，该系统包括弧光探测线圈(2)、电压比较器(3)、整形电路(4)、光发射器(5)、光纤(6)、光接收器(7)、二十进制异步脉冲计数电路(8)、百进制同步脉冲计数电路(9)、五进制同步脉冲计数电路(10)、激光器控制系统(11)、与门电路(12)和或门电路(13)，本发明利用电磁感应原理对气体激光器实施保护。本发明可应用于所有的脉冲放电泵浦的气体激光器，能在很大程度上提高这类激光器的可靠性。

主权项

一种气体激光器弧光放电保护系统，其特征在于，该系统包括弧光探测线圈(2)、电压比较器(3)、整形电路(4)、光发射器(5)、光纤(6)、光接收器(7)、二十进制异步脉冲计数电路(8)、百进制同步脉冲计数电路(9)、五进制同步脉冲计数电路(10)、激光器控制系统(11)、与门电路(12)和或门电路(13)；所述弧光探测线圈(2)安装在气体激光器(1)的放电电流回路侧，其接收气体激光器(1)的放电电流产生的磁场，并将经过电磁感应得到的弧光放电感应电压输出给电压比较器(3)；所述电压比较器(3)与弧光探测线圈(2)电连接，其接收弧光探测线圈(2)输出的弧光放电感应电压，并将该弧光放电感应电压与设定的阈值电压进行比较，当弧光放电感应电压超过设定的阈值电压后，电压比较器(3)输出信号给整形电路(4)；所述整形电路(4)与电压比较器(3)电连接，其对电压比较器(3)输出的电信号进行整形后发送给光发射器(5)；所述光发射器(5)与整形电路(4)电连接，光纤(6)与光发射器(5)电连接，光发射器(5)将接收到的电信号转换成光信号并通过光纤(6)发送给光接收器(7)；所述光接收器(7)与光纤(6)电连接，其将光信号转换成电信号再分别送至二十进制异步脉冲计数电路(8)、百进制同步脉冲计数电路(9)、五进制同步脉冲计数电路(10)；所述激光器控制系统(11)分别与气体激光器(1)、百进制同步脉冲计数电路(9)、五进制同步脉冲计数电路(10)电连接，激光器控制系统(11)发出的激光发射信号一路送给气体激光器(1)使其工作，另两路分别送至百进制同步脉冲计数电路(9)、五进制同步脉冲计数电路(10)作为同步信号；所述百进制同步脉冲计数电路(9)与与门电路(12)电连接，当百进制同步脉冲计数电路(9)计数100个激光器放电脉冲后输出信号至与门电路(12)，将与门电路(12)打开；所述二十进制异步脉冲计数电路(8)与与门电路(12)电连接，若在上述100个激光器放电脉冲中累计有二十个弧光放电脉冲，则二十进制异步脉冲计数电路(8)输出一个脉冲信号至与门电路(12)，与门电路(12)将此脉冲信号输出至或门电路(13)；所述五进制同步脉冲计数电路(10)与或门电路(13)电连接，若在上述100个激光器放电脉冲中连续有五个弧光放电脉冲发生，则五进制同步脉冲计数电路(10)会输出一个脉冲信号至或门电路(13)；所述或门电路(13)与激光器控制系统(11)电连接，其输出脉冲信号至激光器控制系统(11)；所述气体激光器(1)与激光器控制系统(11)电连接，其接收激光器控制系统(11)发送的激光发射信号，并根据该信号调整其放电参数或停止工作。