[发明专利]LaAlO3陶瓷衬底材料的制备方法无效
| 申请号： | 201110152585.5 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN102295455A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 陆神洲;杨秋红;王永刚;黄栋栋;李韫含;史治法;张浩佳 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C04B35/44 | 分类号： | C04B35/44;C04B35/622 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种LaAlO3陶瓷衬底材料及其制备方法，属特种陶瓷制造工艺技术领域。本发明采用高纯α-Al2O3和La2O3粉体为原料，在较低的温度条件下，采用固相烧结法制备了LaAlO3陶瓷衬底材料。基于目前晶体生长工艺还需要昂贵的设备、生产周期长、成本高，不易制备大尺寸。本发明特提出采用多晶陶瓷制备工艺，用LaAlO3陶瓷材料作为高温超导，铁电和半导体等薄膜的衬底，扩充了衬底材料的种类。 | ||
| 搜索关键词： | laalo sub 陶瓷 衬底 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种LaAlO3陶瓷衬底材料的制备方法，其特征在于其具有以下的工艺过程和步骤：（1）、LaAlO3陶瓷粉料的制备采用高纯99.95% Al2O3和99.99% La2O3为原料，根据化学式中两者的摩尔比进行称量配料；其中Al2O3与La2O3的摩尔比为1:1；将按上述配方配制好的Al2O3粉体和 La2O3粉体放入球磨罐中进行球磨，球料比为2:1，溶剂乙醇与粉体的质量比为2:1，球磨罐转速为50转/分，球磨时间为24h；将球磨好的粉体取出，造粒；将混合粉在马弗炉中进行煅烧，烧结温度1200摄氏度，得到LaAlO3粉料；（2）、LaAlO3陶瓷的制备 a. 将上述烧结好的LaAlO3陶瓷粉料放入球磨罐，进行球磨；球磨罐转速为50转/分，球磨时间为24h；b. 将球磨好的粉体取出，造粒；c. 干压成型；在200MPa冷等静压下压成试样；d. 将试样在真空炉进行煅烧, 烧结温度1750摄氏度，最终得到LaAlO3陶瓷。
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