[发明专利]蒸镀装置无效
| 申请号： | 201110143654.6 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102808156A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种蒸镀装置，其包括伞架，至少一个膜料盘，及驱动装置。该伞架用于承载待镀膜元件。该膜料盘与该伞架相对设置，用于盛放膜料。该驱动装置与该膜料盘相连接，用于驱动该膜料盘转动以改变该膜料的表面相对于该伞架的倾角。本发明的蒸镀装置通过驱动该膜料盘转动以改变该膜料的表面相对于该伞架的倾角，从而改变膜料粒子的发射角度，进而提高镀膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其包括：伞架，该伞架用于承载待镀膜元件；至少一个膜料盘，该膜料盘与该伞架相对设置，用于盛放膜料；及与该膜料盘相连接的驱动装置，用于驱动该膜料盘转动以改变该膜料的表面相对于该伞架的倾角。
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