[发明专利]晶圆检测装置及使用其的晶圆检测方法无效
| 申请号： | 201110129607.6 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102788769A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 黄博声 | 申请（专利权）人： | 联景光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆检测装置及使用其的晶圆检测方法。此装置包括承载台、雷射光发射装置、传感单元及控制系统。将晶圆置放至承载台上，利用控制系统操作雷射光发射装置，使雷射光发射装置发出至少两种不同波长范围的雷射光至晶圆，传感单元接收来自晶圆的光信号后输出电信号。接着将此电信号传输至控制系统进行分析，可对晶圆品质进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：承载台，配置用以置放晶圆；雷射光发射装置，发出至少两种不同波长范围的雷射光至所述晶圆；传感单元，接收来自所述晶圆的光信号，并输出电信号；以及控制系统，用以操作所述雷射光发射装置及分析来自所述传感单元的所述电信号，以检测所述晶圆品质。
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