[发明专利]显影槽自动消泡装置无效
| 申请号： | 201110129228.7 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102789140A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 张安好 | 申请（专利权）人： | 昆山华新电子集团有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影槽自动消泡装置，包括显影槽和显影槽中的副槽，该装置在显影槽内安装一个副槽，并在副槽的上端放置一个装有消泡剂的消泡容器，消泡容器上端设有若干孔，且孔与显影槽底端的间距，恰能够为显影槽内的泡沫流入消泡容器的高度，这样，当含有泡沫的显影液达到这个高度时，可自动流入放置消泡剂的消泡容器中，从而实现消泡效果。该装置结构简单，制作成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 自动 装置 | ||
【主权项】：
一种显影槽自动消泡装置，包括显影槽(1)和显影槽中的副槽(2)，其特征在于：所述显影槽(1)中定位放置消泡容器(3)，消泡容器(3)的上端设有若干孔(4)，且所述孔(4)与显影槽(1)底端的间距，恰能够为显影槽(1)内的泡沫流入消泡容器(3)的高度。
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