[发明专利]一种磨料经过表面活性剂处理的水基切削液及其制备方法有效
| 申请号： | 201110119091.7 | 申请日： | 2011-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102212412A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 张楷亮;张涛峰;王芳;额日特 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10M177/00 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300384 天津市南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种磨料经过表面活性剂处理的切削液及其制备方法，配制分两步完成：1）将磨料经过表面活性剂处理，形成高分散、高稳定的磨料悬浮液，然后利用高压高剪切微流喷射机将磨料悬浮液进行处理，将少数由于絮凝作用产生的大粒径磨料粉碎，保证整个溶解液中磨料粒径的均匀；2）在制备好的磨料悬浮液中添加功能助剂，包括螯合剂、防锈剂、消泡剂和pH值调节剂，搅拌均匀即得到本切削液。采用这种配制方法从根本上防止了由于大粒径磨料的存在使硅片表面产生较深划痕的情况，减少了硅片后续抛光加工的量，提高了生产效率和产品良率，降低了生产成本。本切削液适合单晶、多晶硅、化合物晶体、宝石等切削加工方面的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨料 经过 表面活性剂 处理 切削 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种磨料经过表面活性剂处理的水基切削液，其特征在于：由磨料、表面活性剂、.螯合剂、防锈剂、消泡剂、PH值调节剂和溶剂组成，各组分的质量百分含量是：磨料为20~40%、表面活性剂为20%~45%、螯合剂为0.01~5%、防锈剂为0.01~2%、消泡剂为0.1~1%、PH值调节剂为0.01~5%并使磨料悬浮液的PH值为7~11.5、余量为溶剂。
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